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產品名稱： Verios XHR SEM掃描電鏡產品型號： TFE000052產品時間： 2020-06-29
客服熱線：4008005586
Thermo Scientific™Verios™ XHR SEM掃描電子顯微鏡（SEM）旨在提高您實驗室的可發布結果。Verios SEM通過將整個1 keV至30 keV能量范圍內的亞納米分辨率擴展到新型材料，例如催化劑顆粒，納米管，孔隙，界面，生物物體和其他納米級結構，從而提供了新的見解。無需過渡到TEM或其他成像技術即可獲得高分辨率，高對比度的圖像。
產品介紹
Verios SEM提供了研究應用所需的靈活性，可容納大型樣品，例如整片晶圓或冶金樣品。Verios SEM可在1至30 kV能量范圍內以亞納米級分辨率提供精確的成像。它提供了在各種應用中對材料進行精確測量所需的出色對比度，而又不影響傳統SEM的高通量，分析能力，樣品靈活性和易用性。Verios SEM具有*的技術，例如用于提高熱穩定性的定焦鏡和用于更高偏轉線性的靜電掃描。在選擇參數，處理大型樣品或支持其他應用程序（例如分析或光刻）時，它非常靈活。利用Verios XHR SEM，偶爾的用戶和專家都可以在短的時間內訪問準確而完整的納米級數據。
產品特點
? 使用Elstar™單色儀以及優化的光學器件和檢測功能，可以在您的樣品要求的操作條件下獲得準確，真實的納米級信息：對于非導電樣品，其值為500 eV及以下；對于光束敏感樣品，則為低劑量操作。
? 收集完整的納米級信息：得益于Elstar*的四重SE / BSE檢測和過濾功能，地形和材料形成了對比，得益于我們*的多段STEM技術，在結構上形成對比。
? 使用Elstar的精確靜電束偏轉和*進的校準方法，可以依靠遠遠超出普通SEM的精確計量。
? 體驗快速，精確的樣品管理：容納大型樣品，可控地清潔樣品表面，以極低的放大倍數快速檢查并導航到感興趣的區域。
? 使用電子束光刻技術，電子束誘導的材料直接沉積，執行創新且精確的納米加工，并在上下或傾斜位置檢查創建的3D結構。
? 發現一個針對簡單用戶而優化的平臺，它具有簡單而強大的界面，以及可以依靠儀器的靈活性和擴展控件來針對特定實驗精確調整儀器的SEM專家。
參數
電子光學器件
Elstar XHR 浸沒透鏡 FESEM 鏡筒
? Elstar 電子槍，配有：
- 肖特基熱場發射體
- 熱拔插功能
- UC 技術（單色儀）
? 60 度雙物鏡（帶極片保護）
? 加熱的物鏡孔隙
? 靜電掃描
? ConstantPower™ 透鏡技術
源壽命
? 電子源壽命：12個月
電子束分辨率
（需要現場調查以保證分辨率規格）
? 工作距離下的分辨率
- 30 kV 時為 0.6 nm (STEM)
- 15 kV 時為 0.6 nm
- 2 kV 時為 0.6 nm
- 1 kV 時為 0.7 nm
- 500 V 時為 1.0 nm (ICD)
- 200 V 時為 1.2 nm (ICD)
大水平場寬
? 電子束：在 4 mm 工作距離下大于2.0 mm
實際到達能量范圍
? 20 eV - 30 keV
探針電流
? 電子束：0.8 pA - 100 nA
真空系統
? 1 x 210 l/s TMP
? 1 x PVP（干式泵）
? 2 x IGP
? 樣品倉真空：< 2.6 * 10-6 mbar（24小時抽氣后）
探測器
? Elstar 透鏡內 SE 探測器 (TLD-SE)
? Elstar 透鏡內 BSE 探測器 (TLD-BSE)
? Elstar 鏡筒內 SE 探測器 (ICD)
? Elstar 鏡筒內 BSE 探測器 (MD)
? Everhart-Thornley SE 探測器 (ETD)
? 用于查看樣品/鏡筒的 IR 攝像頭
? 安裝在樣品倉的 Nav-Cam+™
? 伸縮式低壓、高襯度固態背散射電子探測器 (DBS)
? 帶有 BF/DF/HAADF 分段的伸縮式
STEM 探測器*
? 集成電子束電流測量
樣品倉
? 4 mm 工作距離下的電子束和EDS 重合點
? 21 個端口
超高精度 5 軸壓電式電動載物臺
? X、Y = 100 mm
? Z ≥ 20 mm
? T = - 10°至 + 60°
? R = n x 360°行程
? X、Y 可重復性 0.5μm
? X、Y 準確度 < 1.5μm，85% 容差區間
? 機械式傾斜共心載物臺，傾斜角度為 0°到 52°時圖像移動小于5μm
? 中心旋轉和傾斜
樣品尺寸
? 大尺寸：直徑 100 mm，旋轉
? 大樣品厚度（通過裝載鎖）：19 mm（含支架）
? 大樣品厚度（通過樣品倉門）：27.8 mm（含樣品支架）
? 重量：200g（含支架）
樣品支架
? 多樣品臺支架
? 多樣品切片支架
? 單樣品臺底座，直接安裝在載物臺上
? 根據要求提供各種晶圓和定制支架
? 配備 -50V至-4 kV 的載物臺偏置的電子束減速
? 集成的快速電子束熄滅裝置
圖像處理器
? 駐留時間范圍為 0.025 到25000 μs/像素
? 6144 x 4096 像素
? 文件類型：TIFF（8、16、24 位）、BMP或JPEG
? 單幀或四象限圖像顯示
? SmartSCAN（256 幀平均或積分、線積分和平均法、隔行掃描）和DCFI（漂移補償幀積分）
系統控制
? 32位GUI（使用 Windows® XP）、鍵盤、光電鼠標
? 兩臺 24 英寸寬屏 LCD 顯示屏，WUXGA 1,920 x 1,200像素
? 顯微鏡控制和支持計算機無縫共用一個鍵盤和鼠標
? 操縱桿
? 多功能控制臺
? 遠程控制
| 產品料號 | 產品貨號 | *產品名稱 | *產品規格 |
| TFE000052 | TFE000052 | Verios XHR SEM掃描電鏡 | Verios XHR SEM |
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